インクジェットコータ
●コーヒーステインがない薄膜を高精度に形成することが可能です。
●減圧定圧環境下で液滴の濡れ広がりを自在に制御でき、レベルが高い平坦性を実現可能です。
●全自動インクジェットヘッドメンテナンス機構によ理目詰まりを防止し、長時間安定吐出可能です。
塗布装置
減圧ＩＪ塗布装置
フォトレジスト塗布例（Ｓｉウェハ）
環境雰囲気制御実験装置
環境雰囲気制御実験装置
配向膜塗布例 (ＩＴＯ成膜基板）
タッチパネル真空貼合装置
●大型ﾊﾟﾈﾙの塗布・貼合に対応可能です。（最大１８インチ）
●タクトタイムの短縮を可能にします。
●ノーマル型、ハイブリッド型の光学接着剤に対応可能です。
●従来の装置に比べて、大幅な設置面積を備えています。
●塗布膜厚精度は、圧力制御方式により、±３％以下に抑えることが可能です。
●本装置の随所に、ＳＡＴ独自の方式が盛り込まれ、特許化されています。
提供できる装置は次の２つの方式の中から選択可能です。
（１）シャトルベース方式真空貼合装置
（２）ベース固定方式真空貼合装置
シャトルベース方式真空貼合装置構成例
シャトルベース方式真空貼合装置の構成例
シャトルベース方式真空貼合装置
プロセス適用例
タブレットPC（15.6ｲﾝﾁ）
スリットコータ
●塗布状態計測（圧力、膜厚等）に基づき高精度間歇成膜が可能です。
●始・終端、エッジを含め全領域で膜厚±３％以下の成膜が可能です。
●広範囲の粘度をもち、様々な組成を有する塗布材料に対応可能です。
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超高粘度材料対応スリットコータ
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電極形成用スリットコータ
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燃料電池用スリットコータ
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薄膜形成用スリットコータ
